プライマリ
計器計器
ADR低温恒温乾式mKシステム
精密ガラス切断機(テーブルタイプ)
VITA反応イオンエッチング機(垂直チャンバ)
はんじどうウェハボンディングけい
えきたいりゅうどけい
レーザ干渉リソグラフィ装置
ブロック抵抗試験器
高温3 Dプリンタ
レーザサンプリング
COWIN高フラックス総合プラズマ反応イオンエッチング洗浄システム
CMP 20電気化学機械研磨機
光学表面欠陥分析計
Nano observer電気原子間力顕微鏡
ないおうりょくけい
BenchTop Turboの熱蒸発とサンプル製造
ウェハ曲げ応力測定器
フリーサーフェス3 Dファセット検出器
マスクレスレーザー直写
多機能マスクレスレーザー直写
DV−502熱蒸発薄膜堆積
SERSチップ基板
Desktop Pro薄膜堆積−マグネトロンスパッタリング
P 17自動ウェハプローブ式輪郭計/段差計
EM−AFM電子顕微鏡その場原子間力顕微鏡
Explorer電子ビーム、マグネトロン、熱蒸発薄膜堆積
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