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製品の詳細
Stress Mapper ウェハ曲げ応力測定器
三次元反り(平坦度)及び薄膜応力の検出機能を備え、半導体ウエハ生産、半導体プロセス技術開発、ガラス及びセラミックスウエハ生産に適している
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Stress Mapper ウェハ曲げ応力測定器
三次元反り(平坦度)及び薄膜応力の検出機能を備え、半導体ウエハ生産、半導体プロセス技術開発、ガラス及びセラミックスウエハ生産に適している