上海納騰計器有限公司
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Desktop Pro薄膜堆積−マグネトロンスパッタリング
Desktop Pro薄膜堆積−マグネトロンスパッタリング
製品の詳細
実験室空間が問題である場合、コンパクトで高真空Desktop Proスパッタリングシステムの生産能力は大きく、占有されるデスクトップ空間は36インチ(914 mm)未満です。Desktop Proは、共焦点スパッタリング及び磁性及び/又は誘電体材料の堆積を提供することができる。

Desktop Proは1つまたは2つの陰極を共焦点構造で支持し、4インチ直径で高い薄膜均一性を提供する。30分未満で高真空(10~6 Torrの範囲)まで抽気することができ、迅速な変換が必要なマルチユーザー環境における完全なソリューションです。



用途:

スパッタ材料研究製品の品質制御と品質保証

半導体故障解析ナノテクノロジー化合物半導体


利点:

この直流および無線周波数スパッタリングシステムにより、研究生産性が向上し、一貫性のある繰り返し可能なパフォーマンスを提供するとともに、テスト環境のスペースを大幅に節約できます。

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