プライマリ
KRIホール型イオン源Gridless
HVA真空矩形弁
全磁気浮上タービン分子ポンプ
Thermonics超低温冷水機
計器計器
米国KRIホールイオン源eH 1000
米国KRIリニアホールイオン源eH Linear
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