プライマリ
KRIホール型イオン源Gridless
HVA真空矩形弁
全磁気浮上タービン分子ポンプ
Thermonics超低温冷水機
計器計器
全磁気浮上タービン分子ポンプATH 1600 MT
Thermonics低温冷水機A-80-1700、空冷
HakutoイオンエッチングマシンIBE
Hakutoイオンエッチングマシン20 IBE-J
HVA矩形真空バルブ(プラグバルブ)88200シリーズ
米国KRIホールイオン源eH 1000
熱陰極真空計PBR 260 IMR 265
米国KRIリニアホールイオン源eH Linear
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