1・技術的特徴

l高倍率双視場顕微鏡と22インチワイドスクリーン液晶ディスプレイは、アライメントプロセスを同時に観察し、USB出力;高精度なアライメントを満たすとともに、露光結果の検出にも使用でき、露光結果と容易な記憶

l倒置式照明を採用し、水銀ランプを交換することが便利で、放熱と光漏れ防止効果がより良い

lアラインメントビットと露出ビットのデュプレクスビット動作、デュプレクスビットの自動切り替え

l組み込みコンピュータの採用+タッチパネル操作、操作が便利、よりスタイリッシュ

l上下の映画、版は非常に便利で、自動化度が高く、操作が簡単です。大学教育科学研究（信頼性が高く、プレゼンテーションが便利）及び工場(効率性が高い)特に適している

2・技術パラメータ

l露出面積：100mm×100mm（アップグレード可能6インチ）

l露出波長：365nm

l分解能：≤1mm（ゴム厚1.5 mmのプラスサイズ）

lアライメント精度：±0.6mm

l顕微鏡走査台の運動範囲：X：10mm;Y:10mm

lマスクサイズ：2.5インチ、3インチ、4インチ、5インチ

lサンプルサイズ：直径f15mm--f100mm（各種不規則片）

あつさ0.1mm--6mm

l露出方式：タイミング（カウントダウン方式）と定量量

l真空接触露光、ハード接触露光を備える光、圧力接触露光、および近接露光の4つの機能

l照明ムラ： 3%（f100mm範囲）

l双眼二視野整列顕微鏡：接眼レンズを通しても目視位置合わせ、またはCCD+ディスプレイアラインメント、光学合成、光学最大倍数400倍、光学+電子増幅800倍数

対物レンズ3対：4倍、10倍、20倍数

接眼レンズ3対：10倍、16倍、20倍数

lセンサによる重複を保証するために接触圧力を平らにする

lアライン・ギャツプとギャップの数値設定

lインプリントモジュールインタフェースを備える、近接モジュールインタフェースも備える

lマスクのサンプルに対する移動ストローク：

X:±5mm; Y:±5mm;q:±6?

l最大焦点厚：400mm（SU8接着剤、ユーザーが検査条件を提供）

l光源の平行性：3?

l露出エネルギー密度：>25mW/cm2,しょうめいめんおんど<35?C

l単層露光ワンタッチ完了

lボールエアフロートを採用+三本爪レベリング

l水銀ランプの電力：350W（直流、インレット）

3・外形寸法：1400mm（長い）?900mm(幅)?1500mm（高さ）

4.構成

（1）露光ヘッド

lコールドエリプソメトリ

l350Wインレット直流高圧水銀ランプ(ドイツ・オスロ)

lXYZすいぎんちょうせつだい

l冷却ファン

l光学系：固定光欄、可変光欄、シャッタ、コリメータミラー1、コリメータミラー2、フライアイレンズ群（79個のレンズ)、iラインフィルタ、フィールドミラー、冷光反射ミラー1、ミラー2

（2）ワークテーブルに合わせる

lフォトリソグラフィベース

lステーション切替台（シリンダ）

lマスクサンプル全体運動台

lマスクサンプル相対運動台

lかいてんだい

lサンプルレベリング機構,3点自動完了

l試料コークス調整機構、モータ自動調整

l基板引抜き式上下機構

lシート受け台4個：f15mm 、f40mm、f60mm、f100mm（ユーザの要求に応じて増減可能）

lマスクホルダ4個：2.5インチ、3インチ、4インチ、5インチ（ユーザーの要件に応じて増減可能）

lサンプルプルアップダウン機構

（3）アラインメント顕微鏡

l光源、 電源装置

l二眼二視野整列顕微鏡本体

l接眼レンズ3はい（10倍、16倍、20倍になる6個）

l対物レンズ3はい（4倍、10倍、20倍になる6個）

lCCDアライメントシステム、22インチ液晶ディスプレイ

（4）電気制御システム

l水銀ランプトリガ電源(350Wちょくりゅうすいぎんとう)

lシングルチップ制御システム

lコントロールパネル

l制御盤テーブル

（5）空力システム

lシリンダ、電磁弁、減圧弁、エアスイッチ等

l電磁弁駆動

lエアメータ

（6）その他の添付ファイル

l真空ポンプ1台

lコンプレッサー1台

l補助インタフェース配管

（7）技術資料

l取り扱い修理説明書

l製品検査合格証