URE-2000/17型紫外深度リソグラフィ技術特徴：
二眼二視野顕微鏡を用いてアライメントする、ボールボウルは平らに調整し、シングルチップ制御、タッチスイッチ、操作が便利で、実用性が強い。

1・技術パラメータ

l露出面積：4インチ

l露出波長：365nm

l分解能：1.5mm（ゴム厚2 mmのプラスサイズ）

lアライメント精度：±1mm

lマスクサンプル全体の運動範囲：X：15mm;Y:15mm

lマスクサイズ：2.5インチ、3インチ、4インチ、5インチ

lサンプルサイズ：直径f15mm--f100mm

あつさ0.1mm--6mm(拡張性15mm)

l露出方式：タイミング（カウントダウン方式）と定量量

l照明ムラ： 5%（f100mm範囲）

l双眼二視野整列顕微鏡：接眼レンズを通しても目視位置合わせ、またはCCD+ディスプレイアラインメント、光学合成、光学最大倍数400倍、光学+電子増幅800倍数

対物レンズ3対：4倍、10倍、20倍数

接眼レンズ3対：10倍、16倍、20倍数

lマスクのサンプルに対する移動ストローク：

X:±5mm; Y:±5mm;q:±6度

l水銀ランプの電力：200W（直流）

l露出エネルギー密度：6mW/cm

2・外形寸法：650mm（長い）?600mm(幅)?900mm（高さ）

3.構成

（1）露光ヘッド

l200Wインレット直流高圧水銀ランプ(ドイツ・オスロ)

lXYZすいぎんちょうせつだい

l光学系

l冷却ファン

（2）ワークテーブルに合わせる

lマスクサンプル全体運動台

lマスクサンプル相対運動台

lかいてんだい

lサンプルレベリング機構,手動

lサンプル焦点調整機構、手動

lシート受け台3個（f50mm、?75mm、?100mm）

lマスクホルダ4個（2.5インチ、3インチ、4インチ、5インチ）

lマスク引抜き式上下機構

（3）アラインメント顕微鏡

l光源（備品2のみ）、電源

l二眼二視野整列顕微鏡本体

l接眼レンズ3はい（10倍、16倍、20倍になる6個）

l対物レンズ3はい（4倍、10倍、20倍になる6個）

lCCD（台湾）

l21インチ液晶ディスプレイ

（4）電気制御システム

l水銀ランプトリガ電源(200Wちょくりゅうすいぎんとう)

lシングルチップ制御システム

l制御シャーシ

（5）空力システム

lシリンダ、電磁弁、減圧弁、エアスイッチ等

l電磁弁駆動

lエアメータ

（6）その他の添付ファイル

l真空ポンプ1台

lパイプ本

（7）技術資料

l取り扱い修理説明書

l顕微鏡取扱説明書