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製品の詳細
主な特徴：
適応寸法：200 mm×200 mm t=8 mm以下の角形基板
スピンコーティング、均質ゴム、洗浄、窒素吹き機能を有する。
主軸にドイツ製輸入モータ及び部品を採用
高回転速度、高精度±1 RPM
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