顕微鏡の紹介：

S 8シリーズ半導体デジタル顕微鏡はEOCの新しいハイビジョン光学系を採用し、光学倍率は2.5 x-100 X、電子倍率

100X-6000X，解像度は200ナノメートルに達した。大理石ベースを採用し、高精密な移動作業プラットフォーム、Z軸電動

焦点調整、本体は耐震防振機能を備えている。半導体シリコンウエハ、ウエハ切断、青膜チップなどの外観に広く適用されている

検出。

機能の紹介：

構成4KHDイメージング、拡張データアップロードをサポート、MESシステムリンク機能。

半導体シリコンウェハ、ウェハカット、青膜チップの外観検査に適している。

パラメータ仕様：