ミクロンスケール空間分解能LIBS試験システム-MEEPLIBS
MEEPLIBSはミクロンスケールで空間分解の元素分析を行うことができ、伝統的な顕微鏡との＊結合を実現し、標準分析口径の大きさは15ミクロンと18ミクロン（zui小は4ミクロンまでできる）で、室温大気環境でテストすることができ、特定の環境でテストすることもできる。
半導体材料、パネル材料のミクロンスケール空間分解能のリアルタイム元素分析に広く応用されている。
システムの特徴：
光源：266 nm紫外レーザ光源
配減衰器のレーザービーム整形機能を有し、レーザーパワーソフトウェアは調整可能である
プローブシステムの自動温度制御が可能
システムにカメラを配置し、ユーザーが試験のサンプル領域をリアルタイムで観測できる
電動三次元調整台を配置してレーザー集束位置を校正し、実験の再現性精度を高め、サンプルに対してシーケンス測定を行うことができる
質量zuiの軽いすべての要素を含む解析測定
試料の前処理不要、迅速な検査