管状部材のろ過精度0.003μm推奨流量15～250 L/min

●全材質にSUS 316 Lステンレス鋼を採用

●高純度浄度：すべての製品は納品前に内部特殊洗浄を経て、高純度窒素ガスを投入しながら高温焼成処理を行う。

・高流量、高圧差でも0.003μm以上の粒子を効率よく除去することができる。

●高内熱性460℃

●10リットル/minの小流量から250リットル/minの中流量を備えた各種モデル。

●低圧力損失：従来の金属フィルタに比べて圧力損失は非常に低く、小型であるが高流量ガスを処理することができる。

仕様：