円盤状部材のろ過精度0.003μm推奨流量10～100 L/min

・フィルタ材料はすべてSUS 316 Lを採用し、腐食や中間生成物の心配がなく、高い耐熱性を備えている。

・窒素（N 2）入力を使用し、フィルタ入力側圧力が0.2 MPa、流量が90 SLMの場合、出力側圧力損失△は0.05 MPaである。

●固定または脈動方式でのろ過精度はCNCにより0.003μmに達することが確認され、超微小ULSIの製造の歩留まりが大幅に向上した。

仕様：