MarSurfWS 1は、白色光干渉法に基づいて用いられる光学表面センサである。この技術は迅速かつ高精度の表面形態測定を実現し、広範囲の異なる材質ワークピースに適用することができる。
この設計は従来の干渉法と似ているが、連続光ではなく白色光を採用している。白色光には短い連続長さがあるため、反応表面形態測定時にはより特性を示す。従来の干渉法と比べて、高さを測定する際に高さ情報を明確に表示し、分析することができる。被測定面領域は、CCDカメラに表示される面領域と高精度基準面とが対物レンズ面干渉によって同じスケールで結像され（Mirau対物レンズ）、分光器によるサンプリングパターンと基準パターンが階層的になり、カメラにおいて干渉が得られる。
測定中にMirau対物レンズは、遠隔位置調整器を介してZ軸方向に小範囲移動することによって生成された干渉図を画像スタックと評価の最終的な高さデータに記録することができる。

MarSurf WS 1は精密な実験室にも生産現場環境にも使用できる。
他の光学測定原理は、異なるタイプの表面を測定する際にその測定範囲を超えやすいものもあれば、高反射表面測定を実現できないものもあれば、粗面を正確に測定できないものもあります。
MarSurf WS 1およびその革新的な測定信号評価は、反射ワーク表面と粗ワーク表面の分析に適している。例えば、垂直方向高分解能は、レンズまたはレンズの表面粗さのような光学アセンブリのサブミクロンレベルの精度測定を行うことができる。マイクロメカニカルアセンブリの表面テクスチャ検出測定を行うこともでき、様々な材質に適したワークはガラス、紙、油面、金属、プラスチック、コーティング、液体を測定することができる。
MarSurfXT 20形態測定ソフトウェアは、広範囲の機能を持つ強力な評価ツールです。標準的なMarWinソフトウェアプラットフォームのおかげで、MarSurfXC 20ソフトウェアからも同様に利益を得ることができます。

•コンパクトセンサー
•新しい照明理念
•USBによる電力供給
•高い画像比率例：短い測定時間
•サブナノメートル高度分解能
•測定時間（評定を含む通常20～30秒）
•組合せ設計原理
•交換可能な照明およびイメージング方法
•MarWin標準形態ソフトウェアによる新しいシステムの利点の評価