ガス質量流量計の動作原理は主に熱式測定原理、振動式測定原理と圧力降下式測定原理に基づいている。‌

ガス質量流量計はガス質量を測定するための器具であり、それは温度と圧力変化の影響を受けず、広範なレンジ範囲に適用され、実験室の小流量場所にも使用でき、工業生産中の大型装置にも使用できる。この器具は通常、腐食性ガスを含む様々なガスを測定できるため、石油や天然ガス業界、化学製品業界、食品や飲料業界などの産業自動化システムに使用されています。

LMF 5000ガス質量流量計特徴
■マイクロ電気機械システムのチップ加工技術と大規模集積回路の生産技術と材料成長技術を採用し、センサーのサイズをマイクロメートルレベルに縮小し、この流量計の感度を大幅に向上させた、
■単一チップ上にマルチセンサ集積を実現し、この流量計のレンジ比を大幅に向上させ、センサ零点安定度は従来の熱式質量流量計より大幅に改善された、
■二次計器のマイクロコンピュータ知能技術を結合し、流量計の再現性を良くし、計量が正確で信頼性があり、技術進歩による構造簡略化を実現し、流量計を従来の機械式計器に比べ、圧力損失を大幅に減少させ、エネルギー消費を大幅に低減させた、
■LCD表示を採用した「瞬時流量」と「累積流量」は明瞭で直感的で、読みやすい、
■製品は電磁互換設計技術を融合し、より高い耐干渉能力を持つ、
■LMF 5000ガス質量流量計RS 485通信モジュールを備え、上位コンピュータネットワークと連携して集中管理を実現することができる、
■4〜20 mAの標準電流信号出力とパルス出力を選択することができる。