CVDシステムは給気システム+管式炉+抽気システムであり、最高温度は1200度、1400度、1600度、1700度に達することができ、加熱区間は単温区、双温区、三温区などであり、限界真空は10-3 Paに達することができ、給気システムは流量調節はプロトン流量計またはフロート流量計であり、混合気路数は2路、3路、4路、5路の混合であることができる。

このCVDシステムは4ウェイガス供給システムKTL 1600管式炉+真空システムから構成されている。

（1）、シリコンモリブデン棒の熱端粗さD 1は7 mmで、一般メーカーが採用した6 MM、加熱端が太く、曲がりにくく、棒の表面負荷が低く、耐用年数が長い。

（2）、採用したのは熱曲げ技術で、抵抗が均一で、使用寿命が長い

（3）、Lu冷端長は210 mm、400 X 300 X 300炉は260、一般メーカーは180 mmを採用し、冷端長炉頂温度は低い。

（4）、シリコンモリブデン棒の表面酸化アモルファス膜が緻密であり、シリコンモリブデン棒を比較的に良好に保護することができる。

回路が過電流または漏電した場合、空の会議は自動的に切断される

この雰囲気管式炉可通信インタフェースとソフトウェアを備え、コンピュータを通じてストーブの各パラメータを直接制御することができ、そしてコンピュータからストーブ上のPVとSV温度値と計器の運行状況を観察することができ、ストーブの実際の昇温曲線コンピュータはリアルタイムに描出され、各時刻の温度データを保存することができ、いつでも呼び出すことができる

（1）、真空吸引ろ過成形の良質高純度アルミナ多結晶繊維硬化炉。
（2）、日本技術を用いて成形する。
（3）、炉内材料の熱容量が低く、熱伝導係数が低いため、放熱が少なく、保温がよく、反射率が高い。温度場の均衡。
（4）、炉内アルミナ糸は細く長く、耐温性が高く、熱膨張と冷縮に強い
（5）、炉の表面がつやつやしていて、粉が落ちにくい。

（すべてUL認証を取得した輸入機器）

宇電プログラムを用いた温度制御計器（標準装備）

1、30段プログラム制御温度知能PID調節。

2、過温保護断偶保護過温または断偶を有する場合、電気炉加熱回路は自動的に切断され、（電気炉温度が1200度を超えるか熱電対が焼断すると、主回路上の交流リレーは自動的に切断され、主回路は切断され、パネル上のONランプは消灯し、OFFランプは点灯し、限られた保護炉）。

3、485通信インタフェース付き（ソフトウェア選択時に標準装備）

4、電源を切ってから炉を起動するとき、プログラムは開始温度から上昇するのではなく、電源を切ったときから炉温度が上昇するという電源遮断保護機能を有する。

5、計器は温度自己調整機能を持つ