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製品の詳細
※シリーズ製品パラメータ
モデルアイテム |
JPC-800L |
JPC-1200 |
JPC-2000 |
限界真空度Pa |
5.0×10-4（清浄、乾燥、空荷） |
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真空回復時間Pa |
18（大気から～10-2Pa） |
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きばん |
PET、PVC、PEなど |
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有効めっき幅mm |
800 |
1200 |
2000 |
最大巻径mm |
Φ350～Φ600 |
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めっき速度m/min |
0.5～10 |
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マグネトロンターゲットの数は |
3～5 |
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ターゲットざいりょう |
ITO、アルミニウム、銅、ニッケル、チタン、シリカなど |
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スパッタ圧力Pa |
1～0.1 |
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スパッタ電圧V |
300～600（D.CまたはMF） |
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さぎょうガス |
Ar、 O2純度99.99% |
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ガス流量制御方式 |
マスフローコントローラ |
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