インテリジェント質量流量計小体積流量制御器熱式ガス質量流量計
用途と特徴
マスフローコントローラ（Mass Flow ControllerはMFCと略記）は、ガスのマスフローを精密に測定し、制御するために使用されます。それらは半導体と集積回路工業、特殊材料学科、化学工業、工業、医薬、***と真空ランプの様々な分野の科学研究と生産において重要な役割を果たしている。その典型的な応用例としては、拡散、エピタキシャル、CVD、酸化、プラズマエッチング、スパッタリング、イオン注入、及びめっき装置、光ファイバ溶融、マイクロ反応装置、混合ガス配気システム、毛細管測定、ガスクロマトグラフ及びその他の分析機器。
主な技術指標
レンジレンジ（20、30、50、100、200、300、500）SCCM（0 ~ 1、2、3、5、10）SLM
精度+1.5%F.S
線形+0.5 ~ 1.5%F.S
繰返し精度+0.2%F.S
応答時間10 secガス特性：（1 ~ 4）sec
作動差0.1 ~ 0.5 MPa
耐圧3 Mpa 6 Mpa 10 Mpa
動作環境温度0 ~ 70℃
デジタル量RS 485 MODBUSプロトコル
アナログ量DC 0 ~ 5 V、4 ~ 20 mAオプション
電気特性：SLM
給電DC+15 V/24 Vオプション、流量計＜50 mA、コントローラ＜200 mA
電気接続DB 15
漏れ率1×10 SCCSHe
ベース材質316 Lステンレス鋼
シール材フッ素ゴム、ブタジエンゴム、クロロプレンゴム
ガス路継手Φ3、Φ6、Φ10、1/8″、1/4″、3/8″
注意：質量流量計と質量流量制御器の出荷は通常窒素ガス（Nタンパ）で標定する.
質量流量の単位は：SCCM（標準ミリリットル/分）、SLM（標準リットル/分）
インテリジェント質量流量計小体積流量制御器熱式ガス質量流量計