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製品の詳細
用途：
半導体産業への応用：
を選択して設定できます。BGA/CSP（PBGA/CABG/LFBGA/SBGA/TABGA/FilipChip）パッケージ等の製造過程、
を選択します。CSPエポキシ樹脂硬化、精密電子部品、結晶素子焼成工事中、
を選択して設定できます。FPC（フレキシブル基板）の製造プロセス。
製品特徴：
本設備は2つの特許を取得し、構造が精巧で、低エネルギー消費で、国内で最も性能の優れた設備である。
主なパラメータ：
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モデル
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VNT91
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VNT216
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VNT512
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VNT1000
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ルームサイズ
（mm）
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深い
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450
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600
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800
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1000
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幅
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450
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600
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800
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1000
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高い
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450
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600
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800
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1000
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外形寸法
（mm）
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深い
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950
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1100
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1300
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1500
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幅
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950
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1100
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1300
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1500
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高い
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1450
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1600
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1800
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2000
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おんどはんい
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R·T+10℃~200℃(300℃)
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昇温時間（空荷重）
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≤40min
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≤60min
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≤60min
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≤70min
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タンク内残留酸素濃度≦100ppm,高純度不活性ガス（例えばN2）流量
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≤20L/min
(≤50minに着く)
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≤50L/min
(≤50minに着く)
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≤100L/min
(≤50minに着く)
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≤200L/min
(≤50minに着く)
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≤7L/min
（濃度保持）
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≤15L/min
（濃度保持）
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≤30L/min
（濃度保持）
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≤60L/min
（濃度保持）
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外箱マテリアル
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両面亜鉛めっき鋼板、表面射出成形処理
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インナボックスマテリアル
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SUS304ミラーステンレス鋼
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リードホール
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φ50 mm 1個、ケース背面に位置する
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コントローラディスプレイ
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5.7インチ、STNカラーLCDタッチディスプレイ
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表示解像度
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温度：0.1℃、時間：0.1min
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プログラム機能
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20個のプログラム,50セグメント/プログラム,設定可能20個のサイクル,最大サイクル数99次,プログラムはリンクできます。
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せいぎょモード
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PID
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重量（kg）
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120
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160
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280
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460
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電力（KW）
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2.0(2.7)
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2.7(3.8)
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5.0(6.5)
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6.5(9.5)
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標準構成
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酸素濃度分析器1スリーブ、流量計3個
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あんぜんそうち
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1.ろうでんほご,2.ちょうおんほご,3.ファン過熱警報,4.ファン過流警報,5.給気窒素圧力低警報,6.ドアオープンアラーム,7.酸素濃度分析器故障警報.
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電源（V）
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AC380±10%V 50±0.5Hz三相四線+アース線の保護
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基準を満たす
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GB/T 5170.2、GB/T 2423.2、GJB 150.3
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オンライン照会
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連絡先
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会社
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電話番号
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Eメール
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ウィーチャット
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認証コード
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メッセージの内容
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