ヘリウム精製器

Valcoガス精製器の精製基質は、無揮発性で加熱活性化された吸着性合金であり、この安定した合金は溶接アセンブリに含まれるため、安全で簡単に使用することができる。吸着剤粒子の表面に酸化膜がある場合は加熱により活性化する必要があり、活性化プロセスは真空または不活性ガス環境下で行わなければならない。これにより、ヘリウムガスがその間で自由に拡散し、酸素不動態化層の形成を防止することができる。ヘリウムガスと窒素ガス精製器には自動制御の特徴的な設計があり、吸着剤材料をzuiの適温に維持し、熱の流失の可能性を解消した。

ヘリウム精製器

*精製可能ガス：He、Ne、Ar、Kr、Xe、Rn

*zui高操作圧力：1000 psig

*除去可能不純物：出口不純物は10 ppb H未満₂O、H₂、O₂、N₂、NO、NH₃、CO、CO₂およびCH₄、これは10 ppm入口不純物の総量に基づいて、その他の除去不純物はCFを含む₄、CCl₄、SiH₄及び軽質炭化水素。

*不純物が除去されていない：He、Ne、Ar、Kr、Xe、Rn

窒素ガス精製器

*精製可能ガス：Nのみ₂

*zui高操作圧力：1000 psig

*除去可能不純物：出口不純物は10 ppb H未満₂O、H₂、O₂、NO、NH₃、CO、CO₂およびCH₄、これは10 ppm入口不純物の総量に基づいて、その他の除去不純物はCFを含む₄、CCl₄、SiH₄及び軽質炭化水素。

*不純物が除去されていない：He、Ne、Ar、Kr、Xe、Rn、N₂