概要

半導体製造工場、ナノテクノロジーセンター、ナノ工場、その他の精密製造・研究センターは、複雑な施設要件（配管、ケーブル、ガス配管など）を満たし、厳しいクリーン基準を維持するために、クリーンルームとアクティブなダミー地上システムを結合しています。このような地面は振動に敏感な生産、検出、計量設備には適していない。可動床は、これらのツールに必要な静かな振動環境を提供することはできません。TMCのQuiet Islandは、下の底面に固定された「静かな島」をアクティブな地上エリアの一部に置き換え、革新的なソリューションを提供しています。Quiet Islandには、クリーンルームに対応するプラットフォームの上部と、アプリケーションと現場固有のサポート構造が含まれています。

しょうしん

Quiet Island**の主要な支持要素とコア技術はいずれもSTACIS III能動制振システムに統合されている。このような「剛性」慣性制振支持システムは、あらゆる振動感受性機器の理想的な選択であり、このようなツールを騒々しい環境で**高基準で動作させることができる。STACIS IIIは、自動ウェハ加工ツール、高解像度電子ビームイメージングツール、イオンビームミリングツール、パッシブまたはアクティブな内部防振システムを備えたツールに対応しています（アクティブ防振器にアクティブ防振器を積層する方法についてのホワイトペーパーを参照）。また、**の広い周波数範囲での**防振性能も提供しています。また、「ハードマウント」の設計は非常に硬いため、高く、重く、軽い工具に対して、安定性の問題は発生しない。

スタンドパイプとスタンド

STACIS防振器を支持するための極めて頑丈で耐久性の高い立管は、TMCの経験豊富なエンジニアリングチームが設計し、ISO 9001工場が高い規格と溶接認証規格に基づいて製造しています。各Quiet Islandは、アクティブな地面の高さ、下地の地面のジオメトリ、ツールのサイズに合わせて設計されています。TMCは世界中に200種類以上の異なる機器型番をサポートする数千の装置を設置し、豊富な知識と経験を持ち、STACISとお客様の施設のニーズを満たすサポート構造を設計することができます。

剛性プラットフォーム

このプラットフォームはTMCによって設計され製造された4インチ（100 mm）厚の鋼板中間層で構成され、その中で鋼板は軽量、非圧縮、減衰の芯材の周りに挟まれている。剛性鋼板とコアをエポキシ樹脂でシームレスステンレス鋼ディスクに接着するための積層効果は、極めて高い剛性と構造減衰を提供する。大断面と鋼含有量は非常に高い全体剛性をもたらした。上部と側面は、清潔さ、美しさ、完全性を維持するために連続した一体型ステンレス鋼製のシェルです。TMCは、切欠き、特殊形状、固定穴、アイボルトなど、必要に応じて用途に特化したプラットフォームを設計、製造することができる。

Quiet Islands vs. Quiet Buildings

Designing a facility to meet the stringent Vibration Criteria of extremely precise imaging equipment can be very challenging, and often cost-prohibitive, particularly when not all tools in the facility require these very low vibration levels.[1]

Statistical representation (in terms of Mean plus Sigma Spectra) of vertical vibrations in a typical semiconductor fab production area at 'as built' and two times thereafter [2]

It is very difficult to isolate very large areas such as entire buildings, or an entire floor. It is also well documented that building vibration levels will increase relative to a design specification as the facility is populated with equipment and people. Repeated vibration measurements a few months, or a year later, show that floor vibration levels typically rise over time.[2]

The more cost effective and successful approach for achieving the stringent requirements of vibration sensitive tools, is to employ point-of use active vibration control with serial piezoelectric technology, particularly to mitigate challenging low frequency (less than 5 Hz) vibration (example here).

TMC can work with the your team to design a tool-specific Quiet Island solution. This process allows us to look at each tool specifically and provide the best performing solution. A building design incorporating one large concrete sub-floor “slab” with a “raised floor” allows for flexibility of tool selection post-construction. Replacing the raised floor with a Quiet Island only where needed provides the most sensitive tool set with a vibration environment an order of magnitude, at least, lower than the sub-floor.

See also The Benefits of Including Floor Vibration Control for Nano-Tech Facilities over Designing 'Quiet' Buildings article on AZO Nano.

1Evolving criteria for research facilities: I – Vibration, Colin Gordon Associates, SPIE Conference 5933: Buildings for Nanoscale Research and Beyond, 2005, Source

2Maturation of the Vibration Environment in Advanced Technology Facilities, Colin Gordon Associates, Journal of the IEST, V. 48, No. 1, 2005, Source

Quiet Islandの利点

STACIS-TMC業界**のアクティブ圧電消振技術、「ハードマウント」設計、0.6 Hzから始まる防振を採用し、防振器内蔵ツールと互換性がある。

モジュール化、カスタマイズ、再配置の柔軟性-各プラットフォームはお客様のアプリケーションに合わせてカスタマイズされますが、コンクリートプラットフォームとは異なり、ツールや床の特性が変化すると、容易に再構成することができます。

専門知識-TMCは**の半導体メーカー、科学研究機関、超精密OEMとの提携経験が豊富です。お客様とそのニーズを理解しています。私たちは自分で設計して製造します。

パフォーマンス

高さ24インチ、高さ40インチx 60インチのQuiet Island、STACISスタンド4基、
地上からのVC-C入力で伝達率を測定

仕様

パフォーマンス仕様

防振器の設計、寸法、環境、および効用の要件

DC-2020コントローラ仕様

その他のパラメータ

その他Quiet Islandの構成

環境振動仕様を持たない大型機器には、通常、可動床から離れた剛性で安定したブラケットが必要です。剛性Quiet Islandは理想的なソリューションです。剛性Quiet Islandは、同じ高性能プラットフォームの上部を持ち、任意の高さ、任意の下地地面ジオメトリのアクティブな床仕上げ室、および各種ツールサイズのためにカスタム設計することもできます。TMCは、さまざまなニーズに対応するためのさまざまなタイプの柱を提供し、機器や工場固有のモジュール化、柔軟な再配置とアップグレードが可能なソリューションを形成します。

写真を適用

私たちQuiet Islandに設置されているので®基盤となる地上プラットフォーム上のデバイスの複雑さ、感受性、価値、注文用の標準カタログは作成されていません番号です。

特定のアプリケーションのために各プラットフォームをカスタマイズする必要があると考えています。推奨される注文手順は次のとおりです。

▪ 隔離する機器や機器を教えてください。私たちはすでに数千の装置をインストールしているので、私たちはあなたのアプリケーション要件を満たすプラットフォーム設計を持っているかもしれません。また、ステッパー、アライナ、SEM、その他のツールメーカーとも密接に関連しています。そのため、**の新しいサイズ、形状、重量変化、地面振動の仕様を理解しています。

▪ あるいは、アクティブな地上グリッドシステムに適したプラットフォームが必要かもしれません。お客様は通常、偶数ブロックのタイルを置き換えるために47 x 47インチ（1190 x 1190 mm）のプラットフォームを選択します。

▪ アクティブな地面が、堅牢な底面の高さよりも高いことを教えてください。

▪ 下地の床や梁/格子板のジオメトリにある穴のパターンを示すイラストを説明または提供してください。

▪ 地表振動データを提供するか、測定方法を検討してください。

▪ 計器の振動感度を考慮する。私たちの剛性、非共振支柱は、多くのツールに十分な支持を提供するように設計されています。より敏感な応用には空気または圧電支持が必要になる