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発生器ユニット（20 mm幅）
すべての機能を統合したスタンダードタイプ。【ノズル直径】0.5、0.7、1.0、1.2（㎜）【吸入流量】7～50（L/min（ANR））業界
製品の詳細
【必要な機能の一体化】
真空用圧力スイッチ、真空破壊弁などのユニット化を実現した。
用途に応じてタイプを選択できます。
| モデル | の名前をあげる | ノズル直径（mm） | コメント |
|---|---|---|---|
| VSG-H | 高真空・中流量タイプ | Φ0.5, Φ0.7, Φ1.0 | |
| VSG-L | 中真空・大流量タイプ | Φ0.5, Φ0.7, Φ1.0 | |
| VSG-E | 高真空・小流量タイプ | Φ0.5, Φ0.7, Φ1.0 |
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