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ジェネレータユニット（幅10.3 mm）
高速かつ安定した応答性を実現する小型発生器ユニット。小型・軽量、特に高さ寸法のコンパクト化を実現した。【ノズル径】0.4，0.5，0.6（㎜）【吸入流量（L/min（ANR））】2〜9.5業界半導体製造工程（後工程）
製品の詳細
【小型・軽量】
設置スペースが限られているお客様に最適です。
製品は高度にコンパクト化されている。
【高速かつ安定した応答性】
メインバルブは直動バルブを採用し、高速かつ安定した応答性を実現する。
（ON/OFF＝5㎜/sec以下）
【4種類の圧力センサ】
圧力センサには4種類のアナログ出力タイプが用意されている。
| モデル | の名前をあげる | ノズル直径 | コメント |
|---|---|---|---|
| VSN-H | 単品タイプ・高真空・中流量タイプ | Φ0.4, Φ0.5, Φ0.6 | |
| VSN-E | 単品タイプ・高真空・小流量タイプ | Φ0.4, Φ0.5, Φ0.6 | |
| VSNM-H | 統合型・高真空・中流量型 | Φ0.4, Φ0.5, Φ0.6 | |
| VSNM-E | 統合型・高真空・小流量型 | Φ0.4, Φ0.5, Φ0.6 | |
| VSNM-Z | 統合型・ハイブリッド仕様 | - |
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