ブランド：GATAN名称型番：原位置加熱台Murano 525
ディーラー：欧波同有限公司

メーカー：GATAN社

製品の総合紹介：

製品機能の紹介：

走査電子顕微鏡における試料加熱は多くの材料科学研究においてすでに不可欠な手段となっており、走査電子顕微鏡を用いてその場加熱台で温度変化過程における材料の微視的変化及び故障分析を動的に観察することができる。現在、金属材料、液晶検出、半導体、高分子材料、流体被覆体、バイオエンジニアリングなど多くの分野に広く応用されている。Murano 525その場加熱ステージは、加熱中のサンプルの相転移、再結晶、結晶粒成長、酸化現象を動的に観察することができる。

製品の主な技術特徴：

Murano加熱台は精悍でコンパクトで、ほとんどの走査電子顕微鏡の標準サンプル台と便利に接続でき、それは断熱インターフェースを含み、二次電子像、電子後方散乱回折（EBSD）と集束イオンビーム（FIB）加工に適している。9 mmx 4.5 mmx 1.5 mmの大きさまで大きいサンプルを急速加熱することができる。この加熱テーブルは、適切な動作距離を維持しながら、EBSDの幾何配置に便利に使用することができる。試料台の温度範囲は室温〜950℃である。触媒、還元または酸化反応を行うには、サンプルに隣接する毛細管を選択して配置し、ガス注入を行うことができる。毛細管の外気流量はフランジ上のニードル弁で制御される。水冷シャーシはSEMの保護を確保し、交換可能な熱遮蔽カバーは通常のイメージングまたはEBSD分析を行うことができ、ソフトウェアに基づく温度制御器は正確な温度制御と記録を実現することができる。積分バイアスは、二次電子と熱放出電子とを識別し、高温でのイメージング品質を向上させることができる。

本図は945°Cから880°Cまでのオーステナイトからフェライトへの転移のEBSD相分布図を示し、オーステナイトは青色（暗）、フェライトは赤色（明）である。試験には低炭素鋼試料を使用し、945°Cに加熱し、相転移の開始が観察されるまで毎分1°Cの速度で冷却した。相転移が開始されると、保温して単一結晶粒中の相の変化過程を観察し、その後再び冷却する。データはOxfordInstrumentsのSingh Ubi博士が提供しています。

Murano 525その場加熱台の突出技術優位：

1、数ミリまで大きいサンプルを迅速に加熱及び冷却することができる（＞100°C/分）

2、コンパクトなサイズはEBSDが必要とする大きな角度傾斜を可能にし、装置の挿入と取り出しを容易にする

3、高温下の局所ガス反応の研究を行うことができる

4、温度精度<±0.5°C、安定性<1°C/時間

5、水冷モジュールを配置し、SEMハッチを効果的に保護し、950°Cのサンプル温度を安全に実現する

6、各SEMに対してカスタマイズし、取り付け/取り外しが便利で、数分以内にSEMサンプル台を正常な状態に回復することができる

7、新しいPCに基づく温度制御器、正確な制御を実現しEBSDの面分布と温度曲線を同期することができる

PCベース温度制御器

製品の主な技術パラメータ：

1、作動距離：シールド付き作動距離10 mm、シールド無し作動距離12.5 mm

2、サンプルサイズ：X 4.5 mm、Y 9 mm、Z（シールド付き）1.5 mm、（シールドなし）3 mm

3、温度安定度：±0.5℃

4、温度制御精度：±0.5℃

5、温度範囲：950℃

6、画像制御システム：DigiscanSEMデジタル電子ビーム制御と画像処理システム

7、保護措置：熱遮蔽装置を持ち、対物レンズとサンプル倉庫に明らかな熱影響を与えず、通常のイメージング或いはEBSD分析を行うことができる

8、構造：構造がコンパクトで、取り付けと取り出しが便利で、EBSDの幾何配置に便利で、同時に適切な作業距離を維持することができる

9、温度制御：PID自動制御と手動制御の2種類のモード、すべての加熱パラメータを記憶することができて、独立なソフトウェア制御、同期EBSDの面分布と温度曲線を実現することができます

主な用途：

EBSDその場解析

きんぞくざいりょう

石油地質岩石鉱物

光電材料

化学工業高分子材料

新エネルギー電池材料

はんどうたい