E-S5040シリーズ工具顕微鏡
Eシリーズ工具顕微鏡は電子、金属材料、鉱物、地質、精密工程などの検査、分析及び研究の必須機器であり、適用
教育、科学研究、工業などの分野。TFT/TP/LCM用に配向された日本オリンパスの光学系を選択その他の製品導電粒子観察。
Eシリーズ工具顕微鏡は手動/自動測定方式を選択可能である、自動測定は自動測定とプログラミングが可能です。
機器の特徴:
Ø3軸直線ガイドレール、そして大理石に直接固定し、ガイドレールの運行時のピッチ及びヨー精度を確保する。
Ø3軸はいずれも精密ワイヤロッド伝動を採用し、隙間がなく、繰り返し性は業界内で常用される光ロッドより高く、寿命が長い。
Ø採用オリンパス光学系、高視点設計のN-WF 10 X/20接眼レンズ、両眼視度調整可能、無限遠平場長動作距離
金相対物レンズ:5 X、10 X、20 X、50 X、100 X(オプション)高品位長距離観察を実現する。
Ø全閉ループ制御を採用し、位置決め精度を保証するとともに、繰り返し精度を保証することができる。
仕様パラメータ:
E-S5040 |
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ステージストローク |
5040 |
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けいきじゅうりょう/kg |
≥370 |
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外形寸法L*W*H |
≥1120*840*1050 |
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測定範囲 (mm) |
X |
500 |
Y |
400 |
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Z |
200 |
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ワークベンチ (mm) |
だいりせきだい |
700*600 |
ガラステーブル |
545*445 |
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荷重 |
25kg |
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映像及び測定システム |
CCD |
ドイツ.IDS産業用カメラ |
光学系 |
オリンパス光学機構 |
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接眼レンズ |
オリンパスN-WF10X/20 |
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オリンパス微分干渉対物レンズ |
シェーディングフィールド対物レンズ:5X、10X、20X、50X |
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ラスタゲージ解像度 |
0.0001mm |
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DIC |
完全偏光調整システム及び微分干渉調整シート |
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測定精度(um) |
X-Y測定精度:2+L/250 Z軸合焦精度≦0.002 mm 繰り返し測定精度0.002mm |
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しょうめいこうげん |
ハロゲン光源/LED光源(オプション) |
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動作電源 |
220 v±10%(AC)50 Hz(注:抵抗≦4Ω接地線が必要) |
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作業環境 |
温度:18 ~ 24℃、相対湿度:30 ~ 75%、振動源から離れる |
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じどうそくてい |
CNCプログラマブル測定システム |
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スイープコード |
構成Holleyハイビジョンスキャンガン |
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コンピュータ |
はっけんかMIC7700H;I5プロセッサー、SSD500G、メモリ8G;フィリップス27インチディスプレイ |
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かんしょうそうち |
空力能動ダンパー台(SMCエアデバイス) |
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ボディ |
済南青大理石台座、板金は304ステンレス鋼 |