蘭州真空設備有限責任公司
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DHシリーズマルチアークコーティング機
※シリーズ製品パラメータ型番項目DH-8 DH-14 DH-18 DH-26 DH-26 A真空室寸法mmΦ800×1100Φ1250×1500Φ1600×1750Φ1600×2250Φ2600×2100マルチアークターゲット数814182626限界圧力Pa 1のみ
製品の詳細

图片25.jpg 图片27.jpg


※シリーズ製品パラメータ


モデルアイテム

DH-8

DH-14

DH-18

DH-26

DH-26A

真空室寸法mm

Φ800×1100

Φ1250×1500

Φ1600×1750

Φ1600×2250

Φ2600×2100

マルチアークターゲットの数は

8

14

18

26

26

限界圧力Pa

1.5×10-3

作動圧力Pa

1.2×10-2

真空回復時間min

15(大気~10-3Pa)

作動回転rpm

公転、自転/二次自転

さぎょうガス

Ar純度99.99%


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