管状部材のろ過精度0.003μm推奨流量10 L/min

●超小型・軽量
SPCシリーズは超小型（Φ21×84 mm）、軽量（90 g）設計。スペースの狭いボンベキャビネットなどの装置に取り付ける場合に最適です。

●高いろ過精度
フィルタコアに多層構造を採用したセラミックスは、ろ過精度に優れている。全フィルターは納入時にCNC粒子カウントで集計し、0.003μmの粒子がゼロであることを確認して出荷した。

●低排気性能
セラミックフィルタは、全金属フィルタに比べて水分吸収量が少なく、優れた排気性能を有する。

●死角なし
フィルタ構造は、フィルタ内部のガス滞留部分を抑制することを十分に考慮し、優れたガス置換性を備えている。

仕様：