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アクティブ防振プラットフォームSTACIS IIIc
概要STACIS IIIcは、STACIS III**アクティブ防振システムのコンパクトバージョンです。それは減少した高さで同様に優れた防振性能を提供した。標準的なSTACIS III系のため、STACIS IIIcは床がないか低い可動床で使用するのに最適です
製品の詳細
概要
STACIS IIIcは、STACIS III**アクティブ防振システムのコンパクトなバージョンです。それは減少した高さで同様に優れた防振性能を提供した。
標準的なSTACIS IIIシステムの高さによって機器が高すぎるため、STACIS IIIcは、設置されていないか床が低い可動床での使用に最適です。
3アイソレータ構成では、アイソレータ高さは従来のSTACIS III高さの60%未満である。3つ以上のアイソレータを備えたシステムでは、ペイロード設定に応じて、高さは60～70%になります。詳細については、次の仕様を参照してください。
STACIS IIIcの利点
従来のSTACIS IIIシステムと比べて、アイソレータの高さ**は42%も低下していますが、性能は低下していません。
STACISは空気防振器より数百倍頑丈で、空気防振システムの限界はありません。これには「ソフト」サスペンションはありません。アクティブエアシステムとは異なり、STACISは内部アクティブエア防振システムを備えたツールの下に置き、両方のシステムを**状態で動作させることができます。
独自のシリアル設計と独自の高力圧電技術
0.6 Hzから150 Hzまでの広いアクティブ帯域幅と、2 Hzから90%減衰する**アクティブ防振性能を実現することができる。
パフォーマンス
4500 lbs (2045 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C
(500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)
パフォーマンス仕様
仕様
| アクティブ自由度 | 6 |
| アクティブ帯域幅 | 0.6 Hz - 150 Hz |
| パッシブ固有周波数 | 18 Hz垂直および水平 |
| アクティブ共振周波数 | 0.5 Hz |
| 1 Hz時の防振 | 40% - 70% |
| ≧2 Hz時の防振 | ≥90% |
| 10ポンド（4.5 kg）ステッピング入力後の安定時間 （10：1削減） |
0.3秒 |
| 内部ノイズ | <0.1 nm RMSd> |
| 防振器あたりの負荷範囲 | 低荷重能力：400～1100ポンド（181～499 kg） 中程度の荷重能力：900～2100ポンド（408～953 kg） 高荷重能力：1900～4500ポンド（862～2041 kg） |
| 剛性（1000ポンド/454 kg質量、中荷重能力防振器） | 40,000ポンド/インチ（73 x 105牛/米） |
| 防振器**から4インチ（102 mm）に放出される磁場 | <0.02 μG broadband RMSd> |
防振器の設計、寸法、環境、および効用の要件
| 環境とセキュリティ | CEおよびRoHS規格に準拠 |
| アクティブ防振素子 | **300ポンド（1500 kg）の小さな荷重能力を持つ圧電アクチュエータは、800 VDCまで出力する高電圧増幅器から信号を受信します。垂直アクチュエータ支持防振の有効荷重 |
| パッシブ防振素子 | 単一の硬質等方性エラストマー（圧縮空気源不要） |
| 振動センサ素子 | 防振器の下の地面振動を測定し、振動運動速度に比例する電圧を供給するための下向き地震検出器型慣性センサ |
| アクティブフィードバック制御回路 | 防振面を支持するスプリングの下で地面振動を測定、処理、減衰する |
| 防振器寸法（幅x奥行きx高さ） | 14.45 x 14.26 x 6.16* in. 367 x 362 x 157* mm * Unloaded height. Loading may decrease height by up to 0.12 in. (3 mm). Systems with ≥4 isolators may require the addition of external wedge mounts that add 1.6 in. (41 mm) to the height. |
| 防振器重量 | 53ポンド（24 kg） |
| 動作温度 | 50° - 90° F 10° - 32° C |
| ちょぞうおんど | -40° - 130° F -40° - 55° C |
| しつど | 30 - 60% |
| システム電源要件 | 100、120、230、240 VAC 50/60 Hz AC； <600 W CE準拠 |
| ちひょうへんい | <480 μin. (12 μm) below 10 Hzd> |
| システムあたりの防振器数 | 少なくとも3つ |
| オプションの添付ファイル | 積層ステンレスプラットフォーム、フレーム、立管、調平装置、耐震装置、リフトカバー |
DC-2020コントローラ仕様
| 寸法（幅x奥行きx高さ） | 19 x 8.5 x 1.75インチ 483 x 216 x 45 mm |
| じゅうりょう | 6.3ポンド（2.9 kg） |
| プロセッサー | 150/75 MHzデュアルコア |
| サンプリングレート | 10 kHz |
| アナログ出力 | 16チャネル |
| アナログ入力 | 16チャネル |
| じょうたいランプ | 単一LED |
| フロントパネルポート | シリアルUSB 2.0 x 1 シリアルMicro-USB x 1 イーサネットRJ-45 x 1 2つのBNC |
| 背面パネルポート | シリアルUSB 2.0 x 1 イーサネットRJ-45 x 1 従来のSTACIS 2100防振器用のRS-232 DB-9従来のシリアル×1 |
| ユーザーインタフェース | フロントパネルLCD ハイパーターミナル上の文字メニュー Microsoft Windows向け拡張GUI 組み込みEthernet GUI |
STACISユーザ及びアプリケーション分野
1、マイクロエレクトロン、半導体
▪ ウェハ検出
▪ マイクロリソグラフィ技術
▪ マスク較正
2、科学研究、ナノテクノロジー
▪ SEM、TEM
▪ STEM、SPM
3、レーザー台
▪ ライフサイエンス、薬物開発
4、工業応用
▪ 精密加工
アクティブシステムを選択する理由
▪ <1 Hzから地上振動を強く除去し、この低周波では空気圧プラットフォームが有効な防振を果たすことができない
▪ 品質、生産量を高める
▪ より細かな特色を持つイメージング能力
▪ 最前線研究
▪ エアプラットフォームよりも安定している
▪ SEM標準サイトのインストールパラメータを満たす**ソリューション
▪ 新しい実験室や研究設備の建設費を削減
アクティブシステムがSTACISを選択した理由
▪ 科学研究者の声を中心に、できるだけ**の免震環境を提供している。
▪ 市場では**の強力な低周波防振システム。
▪ 現在、すべてのSEMメーカーがインストールパラメータの要件を公表しており、必要な振動パラメータはアクティブ防振システムが必要である。
▪ STACIS**は1990 sに発明され、TMCのさらなる発展を経て、数千人の能動防振システムを開発し、設置した。これは能動防振制御分野の提供する信頼できるソリューションである。
STACISは空気圧アイソレータより数百剛性が大きい倍数
安定時間は摂動に対する応答として、独特な直列式設計のため、大幅に短縮され、理想的には機械製造、動的負荷、レーザー或いは光源が設置する必要がある独立剛性メサの場合に応用される。
次のような利点は業界全体で**のものです。
▪ STACISのアクティブ防振帯域幅は0.6 Hz〜150 Hz
▪ 6つの自由度のアクティブ振動除去、1 Hzで8-10 dB振り振動
▪ 2-3 Hzから90%（20 dB）の防振が可能
専門的な環境調査
1、設置前後の環境調査、振動、磁場、音波を含む
2、設置後に環境システムシステム認証を提供できる
▪ 完全な環境調査サービス
▪ 専門的な環境レポートの作成
▪ 振動、磁場、音波検出及び解決策を提供する
▪ TMCはその広範な経験に基づいてユーザーに実用的な方案を推薦する
▪ 40年以上の業界経験、業界内の**
写真を適用
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