1x12,288ラインアレイ位相型

1x12,288ラインアレイ位相型液晶変調器は、光ビームと印刷システムの理想的なデバイスである。この装置は技術に基づく標準的な液晶技術を用いている。CMOS構造に基づくアレイは、高解像度リソグラフィ技術を実現するために有効なツールを提供し、画素が小さいため、ビーム偏向アプリケーションにより大きな偏向角度を提供することができる。また、COMSチップ上の回路はアドレス指定、ランダムアクセスステアリング、任意制御などのプロセスを大幅に簡略化した。CMOSアレイベースのもう1つの利点は、半導体製造において大規模な経済性が実現されていることである。
Zero−twist Nematic（ZTN）液晶を充填する場合、このデバイスは完全にプログラムされた1次元回折ビーム偏向アレイとして使用することができる。アレイ上に可変次数の位相合わせパターンをダウンロードすることにより、プログラマブルな回折位相に相当する非機械的なビーム偏向を実現することができる。液晶ビーム偏向器の主な利点は、機械的な移動がなく（したがってビーム指向偏差や不安定性の問題がない）、ランダムアクセス指向、通光開口が十分に大きく、光学ヘッドが軽量であり、低コストを実現するための大規模な製造が可能である。

特徴	適用＃テキヨウ＃
高い光学効率	ビーム偏向
機械移動なし	回折光学
安全な低電圧動作	スペクトル同調と処理
高速位相制御	超高速
フルユーザプログラミング	プログラマブル位相格子
柔軟なシステム構成	プログラマブル振幅格子
サイレント低振動操作
全固体デバイス構造
プラグアンドプレイ用簡易実装
フレンドリーなグラフィックスインタフェース

	Model P12,288 – λ (nm) – PT
Array Size	19.66x19.66mm
Design Wavelength (nominal)	635-1550nm (Specify wavelength, λ in nm when ordering)
Diffraction Efficiency (zero-order)	80 - 95% (maximum)
Duty Cycle	Up to 100%
External Window	Broadband antireflection coated for Ravg<1% (over='' 450-865nm='' or=''>1%>
Fill Factor	100%
Format	1x12,288
Mode	Reflective
Steering Angle	± 4 - 7°
Modulation	Controllable index of refraction
Phase Levels (resolvable)	50 -100 linear levels (minimum) for 2π phase stroke
Phase Stroke (double-pass)	Typically 2π at user-specified laser line
Pixel Pitch	1.6 μm
Reflected Wavefront Distortion (rms)	λ/10 – λ
Response Time	5 - 30 ms
Spatial Resolution	TBD
Switching Frequency	30 – 200 Hz

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